FS-Pro半導體參數測試系統產品簡介

FS-Pro 半導體參數測試系統是一款功能全面、配置靈活的半導體器件電學特性分析設備，在一個系統中實現了電流電壓 (IV)測試、電容電壓 (CV) 測試、脈沖式 IV 測試、任意線性波形發生與測量、高速時域信號釆集以及低頻噪聲測試能力。幾乎所有半導體器件的低頻特性表征都可以在 FS-Pro 測試系統中完成。其全面而*的參數測試分析能力極大地加速了半導體器件與工藝的研發和評估進程，并可與概倫 9812 系列噪聲測試系統無縫集成，其快速 DC 測試能力進一步提升了 9812 系列產品的噪聲測試效率。

FS-Pro半導體參數測試系統是一款功能全面、配置靈活的半導體器件電學特性分析設備。

• 在一個系統中實現了電流電壓(IV)測試、電容電壓(CV)測試、脈沖式IV測試、任意線性波形發生與測量、高速波形發生與釆集以及低頻噪聲測試能力，幾乎所有半導體器件的低頻特性表征都可以在FS-Pro測試系統中完成。

• 全面而*的參數測試分析能力極大地加速了半導體器件與工藝的研發和評估進程，并可與概倫9812系列噪聲測試系統無縫集成。

• 釆用工業通用的PXI模塊化硬件架構，系統配置靈活，擴展性強。

• 內置專業測試軟件LabExpress提供豐富的測試預設和*的數據處理功能。

• LabExpress軟件同時支持自動化量測和并行量測，可進一步提升測試效率。

• 廣泛應用于各種半導體器件、LED材料、二維材料器件、金屬材料、新型材料與器件測試、器件可靠性等研究領域。

• 產品應用

• 新型材料與器件測試

• 半導體器件可靠性測試

• 半導體器件超短脈沖測試

• 半導體器件無損探傷與測試

• 光電器件和微電子機械系統測試

• 半導體器件超低頻噪聲領域測試

主要規格參數：

• 寬量程：200V 電壓，1A 直流電流
• 高精度：30fA 精度，0.1fA 靈敏度
• 噪聲測試帶寬：高精度zui高 100kHz，超低頻zui高 40Hz
• 噪聲測試速度：<10s/bias（大于 0.5Hz 頻率分辨率）
• 內置脈沖測試：200V 電壓，3A 脈沖電流，最小 50μs 脈寬
• 內置 CV 測試：200V/10kHz，zui低可測至 20fF
• 外置 CV 測試模塊：40V/2MHz（高精度型）；40V/10MHz（高帶寬型）
• 高速時域信號采集：最小采樣時間 < 1μs，10 萬點數據
• 噪聲測試最小阻抗：500Ω
• 噪聲測試分辨能力：zui低 2e-28A2/Hz
• 噪聲測試頻率分辨率：高精度 0.1Hz，超低頻 0.001Hz
• 高精度快速波形發生與測量套件
• 2 通道，SMA 接口
• 快速 IV 測試：±10V 電壓，zui大 10mA 電流
• SMU 直通：±25V 電壓輸入，zui大 100mA 電流
• 100MSa/s 采樣率，最小推薦脈沖寬度可達 130ns

  
  

軟件功能

FS-Pro 系列內置 LabExpress 測量軟件具有*的測試和分

析功能，該軟件提供友好的圖形化用戶使用界面和靈活的設

定，具有下列主要功能：

完整支持直流、脈沖、瞬態、電容、噪聲測試、任意波形

發生與測量功能

支持長程 Stress 測試，和 HCI，BTI，TDDB，GOI（V-Ramp，

J-Ramp）可靠性測試

內置的常見器件測試預設可大大提高測試設置效率，幫助

新手操作者快速完成測試

*的自定義設定功能可以靈活編輯電信號

內置*數據處理能力可測試后直接展幵器件特性分析多

種數據保存方式，導出數據可供用戶后續分析研究也可直

接導入建模軟件 BSIMProPlus 和 MeQLab 進行模型提取

和特性分析

LabExpress 專業版支持對主流探針臺和矩陣幵關設 備的控

制，支持晶圓映射、并行測試實現自動測試功能，進—步

提升測試效率